该论文针对激光刻写制备二维点阵等微纳结构需要搭建复杂的光进行多光束的研究背景,理论上提出了一种样品旋转式激光双光束刻写二维微纳结构的方法。该方法可刻写制备二维点阵、六边形,同心等间隔圆环等微纳结构。论文提出的光刻方法有望发展成一种装置简单、成本低廉、性价比高的微纳结构刻写技术。
研究论文得到了审稿人的高度评价,其中一个审稿人这样写道:“微结构的研制是当今热门研究领域之一。论文在其课题组原有工作基础上进行了理论拓展,仿真研究了双光束激光条件下,样品旋转式制作方案的部分微结构。这种创新性的实验方案对实际微结构加工具有很好的指导意义。论文进行了非常精细的理论仿真,结果很好。”近年来,理工大学鼓励大学生勇于开展创新创业活动。一向喜欢科研的陈宜臻从大一暑期开始,就在指导老师王向贤副教授的指导下,开始了微纳光刻方面的研究,并取得了较好的科研。2016年,陈宜臻获得国家级大学生创新训练项目的立项。今年3月,在学校举办的“挑战杯”大学生课外学术科技作品竞赛中,该论文获得“自然科学类学术论文”一等的好成绩。
据悉,该论文得到了国家自然科学基金(No. 61505074)和国家级大学生创新训练项目(No. 0)的资助。(通讯员:王向贤)
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